Реагент с чистотой намного выше, чем у премиум-класса, называется реагентом высокой чистоты. Он разработан на основе универсальных реагентов и является чистым реагентом, получаемым специальными методами для специализированных целей. Высокочистые реагенты контролируют содержание примесей, в то время как эталонные реагенты контролируют основное содержание. Реагенты образца могут быть получены с использованием стандартных растворов, но реагенты высокой чистоты не могут быть использованы для приготовления стандартных растворов (за исключением элементарных оксидов).
В настоящее время нет единой и четкой спецификации на международном уровне. В Китае, за исключением нескольких продуктов, которые установили национальные стандарты, стандарты качества для большинства реагентов высокой чистоты по-прежнему очень непоследовательны, и есть разные названия, такие как высокая чистота, сверхчистота, сверхчистота, спектральная чистота, электронная чистота и т. Д. Чистота продукта, как правило, представлена 9. Следовательно, В столбце спецификации отметьте 2 9s, 3 9s, 4 9s и так далее. Согласно этому принципу, вещества высокой чистоты можно разделить на:
Полное содержание примеси не превысит 1,5 × 10-2%, с очищенностью 3,5 9с (99,95) сокращенной как 3.5Н
Полное содержание примеси не превысит 1,0 × 10-2%, с очищенностью 4 9с (99,99) сокращенной как 4.0Н
Полное содержание примеси не превысит 1,0 × 10-3%, с очищенностью 5 9с (99999) сокращенной как 5Н
Проверка чистоты или содержания примесей реагентов или элементов высокой чистоты обычно определяется такими методами, как атомно-абсорбционная спектроскопия, атомно-эмиссионная спектроскопия, хроматография, масс-спектрометрия, колориметрический химический анализ и т. Д. Спецификации анионов обычно основаны на стандартах качества реагентов, А продукты без стандартов качества формулируются самой производственной единицей. Согласно различным применениям, реагенты высокой чистоты далее делятся на несколько категорий:
Обычные реагенты очистки
Это относится к некоторым элементным металлам высокой чистоты, оксидам, солям металлов и т. Д., Обычно используемым в промышленных материалах атомной энергии, электронных промышленных материалах, полупроводниковых основных материалах и т. Д. Элементные оксиды металлов используются для приготовления стандартных растворов и служат стандартными веществами. Этот тип реагента часто требует содержания между 4N-6N.
Ультра чистый электронный чистый реагент
Сверхчистые и высокочистые реагенты-это специализированные химические вещества в процессе производства интегральных схем (ИС), используемые в процессах очистки кремниевых пластин, литографии и коррозии. Требования к растворимым примесям и твердым частицам в этом реагенте высокой чистоты очень строгие. Чтобы удовлетворить растущий спрос на интеграцию ИС, Ассоциация полупроводниковой промышленности недавно ввела стандарты качества реагентов на уровнях Semic7 (подходит для техпроцесса 0,8-1,2 микрон) и Semic8 (подходит для техпроцесса 0,2-0,6 микрон). На основе существующих реагентов класса MOS и BV-I класса, Китай также разработал стандарты для реагентов класса BV-II и BV-III (эквивалент Semic7). Мой научно-исследовательский институт также разработал различные уровни MOS, BV-I уровень, BV-II уровень и некоторые реагенты BV-III уровня, с размером частиц (0,5 размера частиц) ≤ 25-100 штук/мл и общим содержанием металлических примесей ≤ 10-3-10-5%